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일본 기업의 전유물 같았던 디스플레이 이온주입장비가 국내 기술로 개발됐다. 디스플레이 양산 공정 적용까지 이어질 지 관심이 쏠린다.
15일 업계에 따르면 정부가 추진한 디스플레이 이온주입장비 개발 국책과제가 마무리 된 것으로 파악됐다. 2021년부터 시작돼 지난해 12월 마감할 예정이었지만 올해 6월까지 연장돼 4년 만에 완료됐다.
산업통상자원부는 2020년 국내 중견·중소 장비업체가 개발하고 삼성디스플레이와 LG디스플레이가 수요기업으로 참여해 성능평가와 사업화를 지원하는 방법으로 이온주입장비를 국산화하겠다고 발표한 바 있다. 그동안 과제 세부사항에 대해 공장중개 서는 비밀에 부쳐진 채 진행됐는데, 최종 결과를 낸 것으로 보인다.
취재를 종합하면 과제는 성공적으로 마무리된 것으로 전해졌다. 구체적으로 삼성디스플레이를 수요기업으로 하는 과제는 협력사인 에이치엔이루자가, LG디스플레이를 수요기업으로 하는 과제는 협력사인 아바코가 맡아 장비를 개발한 것으로 파악됐다. 특히 아바코는 차세대 투자를 대비해 학자금대출 신청 8.6세대 유리원장까지 대응할 수 있도록 개발했다.



아바코의 이온주입시스템 특허에 기재된 국가연구개발사업. 빨간색 박스 부분에 연구사업명으로 '비밀 프로젝트'라고 표기된 점이 눈에 띤다. 연구기간은 6개월 연장돼 2025년 6월 30일까지 진행됐다. 〈자료 특허청〉
참

디스플레이 이온주입장비는 저온다결정실리콘(LTPS)에 중전류를 인가하고 이온(불순물)을 주입해 저항이 낮은 도전성 물질로 바꿔주는 역할을 하는 장비다. 최근에는 산화물 박막트랜지스터(TFT)에도 이온을 주입해 전자이동도를 높이려는 추세여서 활용도가 더 높아질 것으로 예상된다. 소자 특성을 개선하기 위해 사 토지중개 용되는 유기발광다이오드(OLED) TFT 공정 핵심 장비 중 하나다.
이온주입장비는 그동안 일본 기업에 전량 의존해왔다. 국내 디스플레이 업체들의 주력인 6세대 라인에는 모두 닛신이온 장비가 적용됐다. 이번 개발로 이온주입장비 상용화와 수입 대체 효과가 발생할 지 주목된다. 외산 독점 구도를 깨면 장비 가격을 낮추고 공급망도 안정화할 수 제1금융권금리비교 있다.
다만, 개발 장비를 양산 라인에 실제 적용하기 위해서는 성능과 신뢰성 검증이 필수다. 이 때문에 수요기업으로 참여한 패널 업체들이 적극적으로 활용 방안을 모색해야 한다는 목소리가 나온다. 보통 장비 선정 과정에서 양산 장비 납품 이력을 중요시하기 때문에 신규 업체가 장비를 공급하는 게 어렵기 때문이다.
한 디스플레이 관계자는 “외산에 전적으로 의존하는 장비를 정부 예산을 들여 국산화한 것에 큰 의의가 있다”면서도 “실제 활용되지 않는다면 의미가 없기 때문에 우리 기업들이 전향적으로 활용 가능성을 검토할 필요가 있다”고 말했다.
김영호 기자 [email protected]